Semiconductor Filter
반도체용 필터
Wafer-Purity 보장을 위한 Gas/Chemical Filter. PALL 공식 대리점으로 최적 사양을 공급합니다.
Gas 라인 필터
초고순도 공정 가스 라인의 입자 및 수분 제거. SiO₂ 입자 99.9999% 제거 효율.
Chemical 필터
HF, H₂SO₄ 등 부식성 약액 공정용 내화학성 PTFE/PFA 필터 카트리지.
DI Water 필터
초순수(UPW) 라인 최종 포인트 필터. 0.003 μm 이하 미립자 완전 제거.
CMP Slurry 필터
CMP 공정 슬러리 라인 응집 입자 제거. 스크래치 방지 및 수율 향상.
기술 사양
재질 (Material)PTFE, PFA, Nylon, PE
여과 정밀도 (Removal Rating)0.003 μm ~ 0.2 μm
운전 조건최대 10 bar / 5°C ~ 80°C
용도Gas, Chemical, DI Water, CMP Slurry
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PALL Semiconductor Filter 카탈로그
반도체 공정별 필터 선정 가이드