ELCOM
Semiconductor Filter

반도체용 필터

PALL 공식 대리점으로 반도체 8대 공정 전반에 필요한 최적 사양의 필터를 공급합니다.

8반도체 8대 공정 및 적용 필터

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웨이퍼 제조

Wafer Fabrication

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산화

Oxidation

D.I Water Filter

포토리소그래피

Photolithography

Photo Resist (P.R) FilterEUV Photo Filter

식각

Etching

Wet Etch Process FilterChemical Supply System Filter

박막 증착

Deposition

Gas Supply System Filter

금속 배선

Metallization

Chemical Supply System Filter

세정

Cleaning

EUV Rinse FilterD.I Water Filter

CMP

CMP

CMP Filter

공급 제품 라인업

Chemical Filter

케미컬 여과용

PDFClaris Series Filter CartridgesPDFMicro Kleen ChangePDFIonKleen-SL PurifierPDFUltipor GF-PlusPDFPoly-Fine ARD
Gas Filter

가스 필터

⏳ 카탈로그 추가 예정
CMP

CMP 공정용

PDFCMP Starkleen Filter CapsulePDFDFA-TM-Profile Star CapsulePDFKleen Change In-Line Filter CapsulePDFProfile 2PDFProfile StarPDFUltipleat ProfilePDFPall Microza Module
MICROLITHOGRAPHY

포토리소그래피용

PDFDFA-TMPDFEZ In-LinePDFFalcon PhotoresistPDFPhotoKleen DDFPDFPhotoKleen EZDPDFPhotoKleen EZD-2PDFUltipleat P-Nylon
Etch

식각 공정용

PDFMini Kleen Change-Photo
Cleaning

세정 공정용

PDFPall Microza ModulePDFUltipleat Posidyne 2 Filter
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